电子元器件的泄漏检测步骤通常分为细检漏与粗检漏 ，细检漏步骤重要蕴含氦质谱检漏法及光学细检漏法；粗检漏步骤蕴含碳氟化合物粗检漏、酒精气泡检漏、差压粗检漏、光学粗检漏等。针对拥有密关内腔及非密关的元器件进行检测时应按以下准则选择合用的步骤：
a）拥有密关内腔的元器件细检漏时辰为未充入示踪气体的元器件与己充入示踪气体的元器件两种情况。拥有密关内腔元器件可选取氦质谱细检漏及光学细检漏步骤进行细检漏 ，可选取碳氟化合物粗检漏、差压粗检漏及光学粗检漏步骤可对拥有密关内腔的元器件进行粗检漏。
b）非密关元器件进行检漏时可选取氦质谱法作为检漏步骤。检漏工作可依照 GJB 548 及 GJB 1217的划定进行。
今天我们来进建关于差压粗检漏法的内容。
1、概述
差压粗检漏法检测道理为对位于差压传感器两侧的被检元器件与基准件同时充压 ，随后丈量被检元器件与基准物内腔的压力差 ，并推算被检元器件的总漏率。检测过程分为幼泄漏检测与大泄漏检测两部门。差压粗检漏道理如图 1 所示。
幼泄漏检测 ，将被检元器件和基准件（与被检元器件一样并且是不漏的）别离搁置在差压计两端的密关测试容器中 ，对密关测试容器充压 ，而后进行保压 ，若被检元器件存在比力幼的泄漏 ，搁置被检元器件的密关容器内的压力会产生变动 ，检漏仪上的差压计即可检出压差 ，经过有关推算 ，即可得出被检元器件的漏率。
大泄漏检测 ，被检元器件上有较大的漏孔 ，在对密关测试容器充压的同时 ，气体味比力快的进入被检件内腔 ，导致充压终场以来 ，被检元器件内腔的压力与所处容器压力一样或相近 ，固然被检元器件有较大的漏孔 ，检漏仪上的差压计只有很幼的压差显示 ，有可能将大漏判断为幼漏。为了预防错判 ，所以必须进行第二步大泄漏检测。选取配容分压的方式 ，来判断被检元器件上是否存在很大的漏孔。打开两个大泄漏检测阀 ，使搁置被检元器件和基准件的容器与另表一对配容容器相通。若是被检元器件存在很大的漏孔 ，其内腔的气体加上地点容器的气体的总质量比搁置基准物的容器内的气体总质量要多 ，从而产生另表一个压力差 ，使差压传感器产生响应。
凭据大泄漏及幼泄漏检测得到的两个压力差数值 ，差压检漏仪能够按设定的数据判断被检元器件漏率是否合格。
1——气源；2——平衡阀；3——大泄漏检测阀；4——配容容器；5——校对器；
6——密关容器；7——被检件；8——基准件；9——差压传感器
图 1 差压粗检漏道理图
2、设备组成及要求
进行压力变动粗检漏所用设备应蕴含差压式检漏仪、校对器、气源装置及密关容器等重要部门。对各组成部门具体要求为：
a）元器件差压式检漏仪应拥有足够活络度（≤1Pa）的差压传感器 ，应建设有两个能够连通或隔断、内腔体积一样的对称刚性密关测试容器 ，建设有可进行幼漏率检测和大漏率检测的装置。差压检漏仪应定期进行检定。
b）校对器应定期进行检定。
c）气源装置应确保不低于 450kPa 的不变气源压力。
d）其余要求应切合 GJB/Z 221 的划定。
3、检测法式
3.1 校对
针对分歧规格的元器件 ，选择相应的检漏容器 ，设置检测压力、加压功夫、平衡功夫、检测功夫等 ，将检漏仪调整在检漏状态。旋转装置在检漏仪上的校对器 ，丈量检漏仪的压力差变动值。当检漏仪的压力差变动值 ，蹬宗检漏仪一倍噪声对应的压力差数值时 ，纪录校对器的体积变动量 ，通过推算得到对应的漏率值 ，该漏率值即为最幼可检漏率。
3.2 压力差选择
凭据被检元器件的允许漏率 ，确定幼漏率检测时合格品对应的压力差允许值和大漏率检测时不合格品对应的压力差报警值。在检漏仪上设置加压功夫、平衡功夫、检测功夫等参数 ，设置幼漏率检测时合格品对应的压力差允许值和大漏率检测时不合格品对应的压力差报警值。
3.3 加压
将被检元器件与基准件别离放入差压传感器两侧的密封容器内 ，加盖密封后同时向两个容器内充气加压。
3.4 保压
加压实现后期待一按功夫 ，保障充入到密封容器内的气体可能通过漏孔进入被检元器件内部 ，导致搁置被检元器件的密关容器内压力逐步降低。
3.5 幼漏率检测
对压力传感器产生的信号进行判读 ，传感器存在压力差显示时 ，证明被检元器件存在泄漏。
3.6 大漏率检测
幼漏率检测过程实现后 ，将搁置被检元器件与基准物的两容器互通 ，被检元器件端平衡压力将高于基准物端平衡压力 ，通过差压传感器的信号输出 ，可对内部大漏进行判定。
4、失效判据
出现下列情况的元器件应判为失效：
a）作为与氦质谱检漏结合的粗检漏 ，被检元器件等效尺度漏率大于 1*10-5Pa·m?/s 时判定为失效；
b）有特殊要求被检元器件划定的允许漏率可大于 1*10-5Pa·m?/s 时 ，按要求的划定值判定是否失效。
