真空阀门的漏率测试：

1、测试步骤

选取氦质谱检漏法丈量漏率。高真空微调阀、超高真空挡板阀、超高真空插板阀、超高真空蝶阀使用氦罩法测试。

2、测试装置

测试装置如图 1 所示，由氦质谱检漏仪、检漏台及真空辅助系统组成。如有必要，可选取 GB/T 34878 中描述的丈量装置。

标引序号注明：

1——氦质谱检漏仪
；2——检漏台
；3——真空辅助系统（选用）
；4——被测阀门。

图 1 漏率测试装置

3、测试步骤

3.1 氦质谱检漏仪活络度（q_min）的测试

在测试漏率之前，按图 1 所示，在检漏台接口处衔接尺度漏孔，测得活络度（q_min）。

3.2 阀门总体漏率（Q_m）的测试

3.2.1 将阀门由阀板直接封隔或开启的阀口与检验台接口相对接，阀门的另一法兰口用盲板封隔。

3.2.2 开启阀门的阀板，启动真空系统，待阀体内压力降到 10Pa 时，接通氦质谱检漏仪持续抽空，当测试装置压力降至基础压力或靠近基础压力时，关关真空辅助系统的阀门，纪录氦质谱检漏仪输出信号值（U₁）。

3.2.3 使用喷吹法时，用氦气喷枪在阀门待检漏的地位以肯定快率喷吹氦气，别离纪录下各漏孔的氦质谱检漏仪输出信号值，推算其和 U_n。

3.2.4 使用氦罩法时，使用由密质资料（如塑料薄膜等）造成的钟罩将阀门缜密扣封，并向罩内充入氦气，纪录氦质谱检漏仪输出的不变氦信号值，即 U_n。

3.2.5 阀门总体漏率 Q_m 按公式（1）推算：

Q_m=（U_n?U₁）×q_min ················································（1）

式中：

Q_m——漏率，单元为 Pa·m?/s
；

U_n——氦质谱检漏仪输出的不变氦信号值，或各漏孔的氦质谱检漏仪输出信号值之和，单元为 mV
；

U₁——氦质谱检漏仪输出信号值，单元为 mV
；

q_min——氦质谱漏仪的活络度，单元为 Pa·m?/（s·mV）。

3.3 阀门正向漏率（Q_r）的测试

测试步骤如下：

a）将阀门由阀板直接封隔或开启的阀口与检验台接口相对接，阀门的另一法兰口与大气相通
；

b）关关阀门的阀板，启动真空系统，待系统内压力降到 10Pa 时，接通氦质谱检漏仪持续抽空，当测试装置压力降至或靠近基础压力时，关关通向真空系统的阀门，对阀板以下空间进行测试，纪录氦质谱检漏仪输出信号值（U₁）
；

c）使用喷吹法时，将氦气喷枪深刻阀门体内，向阀门表表及密封口周围喷吹氦气，别离纪录下各漏孔的氦质谱检漏仪输出信号值，推算其和 U_n
；

d）或，使用氦罩法时，使用由密质资料（如塑料薄膜等）造成的钟罩将阀门缜密扣封，并向罩内充入氦气，纪录氦质谱检漏仪输出的不变氦信号值，即 U_n
；

e）设定 Q_r=Q_m，可按公式（1）推算 Q_r。

3.4 阀门反向漏率（Q_b）的测试

测试步骤如下：

a）关关阀门的阀板，将阀门的另一法兰口与检验台接口相对接并连通
；

b）启动真空系统，按 3.2.2 进行测试，纪录氦质谱检漏仪输出信号值（U₁）
；

c）使用喷吹法时，用氦气喷枪从表部向阀门阀板表表、密封口周围和阀门表表表喷吹氦气，别离纪录下各漏孔的氦质谱检漏仪输出信号值，推算其和 U_n
；

d）或，使用氦罩法时，使用由密质资料（如塑料薄膜等）造成的钟罩将阀门缜密扣封，并向罩内充入氦气，纪录氦质谱检漏仪输出的不变氦信号值，即 U_n
；

e）设定 Q_b=Q_m，可按公式（1）推算 Q_b。

3.5 阀门漏率的具体测试内容

阀门漏率的具体测试内容应切合表 1 的要求。

表 1 阀门漏率测试内容