设备简介：

通过用氮气、中和洗濯液、水、无水乙醇冲刷发起机内腔，通过颗粒计数器做清洁度查抄，确保被洗濯过的工件是达到清洁度要求的，并对残液进行吹除
。设备由工作试验台、节造系统、供气系统、供液系统、粒子检测系统和循环利用系统四大部门组成
。

重要技术参数：

?  系统介质：无水乙醇等
；

?  介质温度：常温
；

?  压力节造精度：≤±0.05MPa
；

?  压力稳压精度：≤0.5％F.S
；

?  压力采集精度：≥0.2％F.S
；

?  节造方式：工控机全自动节造
；

?  过滤精度：气路2u、液路入20u-出10/2u两级过滤
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?  粒子计数精度：2-100u
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?  电源：380V 50Hz 5kW
；

?  气源：高压空气或者氮气
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设备参考图片：