1、检漏步骤汇总

1.1 常用检漏步骤

真空设备常用的基础检漏步骤有：

a）氦质谱真空法
；b）氦质谱正压法
；

c）气泡法
；

d）压力变动法
；

e）卤素内-表式检漏法
；

f）超声检漏法
。

1.2 其他检漏步骤

质谱法、声学法、高压放电法、传感器检漏法、流量计法等其他检漏步骤也可用于真空设备
。

2、检漏步骤的选择

2.1 确定检漏步骤选择前提

2.1.1 检漏类型

真空设备检漏步骤的类型蕴含：

a）定性检漏
；

b）定量检漏
；

c）定位检漏
。

2.1.2 重要技术前提

真空设备检漏步骤选择的重要技术前提蕴含：

a）真空设备的允许漏率
；

b）真空设备的承压个性
。

2.1.3 检漏执行前提

真空设备检漏步骤选择的重要执行前提蕴含：

a）检漏执行的影响
；

b）是否具备检测仪器
；

c）是否具备示踪介质
；

d）真空设备表形和密封结构
；

e）示踪介质与真空设备资料的相容性
；

f）检漏步骤要求的工艺措施与真空设备工艺的匹配性
；

g）检漏所处阶段
。

2.2 初步选择检漏步骤

2.2.1 与检漏类型有关的选择

与检漏类型有关的选择
，应遵循：

a）必要丈量真空设备的漏孔、部门或总体漏率时
，选择定量检漏的步骤
；

b）基于比对道理的定量检漏步骤
，应蕴含必要的检漏系统校准法式
；

c）倒劓空设备漏率不满足密封机能要求、存在不成接受漏孔且有建复需要时选择定位检漏步骤
；

d）通常情况下
，定位检漏步骤、定量检漏步骤可用作定性检漏
，定位检漏步骤不能直接用于定量检漏
，用于部门区域的定量检漏步骤可用作定位检漏
。

2.2.2 与重要技术前提有关的选择

与重要技术前提有关的选择
，应遵循：

a）所选检漏步骤的有效最幼可检漏率不应大于允许漏率的 1/10
；

b）所施加的检漏压力不应大于真空设备的工作压力
；

c）所施加的检漏压力的方向、大幼应与真空设备在工作前提下的压力状态一致
。

2.2.3 与检漏执行前提有关的选择

与检漏执行前提有关的选择
，应遵循：

a）检漏步骤执行后不应给真空设备、检测仪器、执行人员带来不成接受影响
；

b）在选择检测仪器时
，应优先思考利用真空设备自身或现场可用于检漏的检测仪器进行检漏
；

c）在选择示踪介质时
，应优先思考利用真空设备工作介质或预置的可用于检漏的示踪介质进行检漏
，其次思考检漏步骤自身使用的示踪介质进行检漏
；

d）检漏步骤应满足真空设备的表形结构、密封结构对检漏执行的要求
，便于执行检漏
；

e）检漏步骤所选取的示踪介质应与被检真空设备相容
，不与其资料产生反映
；

f）检漏步骤表表处置的工艺应与被检真空设备的要求相匹配
；

g）在真空设备出产阶段
，可适当提高密封机能要求
，减幼组件的允许漏率
。

2.3 确定检漏步骤

从安全成分、环境成分和经济成分等方面
，对初步选择的检漏步骤进行综合评价
，优先选择安全风险幼、环境传染幼、经济的检漏步骤
。